做设备检验校准计量器具年审外校的机构，本检测中心专注做仪器检测，仪器校准，仪器计量，仪器检验，仪器校正，仪器外校，仪器计量校正，仪器年检，仪器校准检测，仪器检测外校，仪器校正检测，仪器校准外校，仪器校准年检，仪年检送检，出具的证书报告，适用于企业ISO认证、CCC认证、UL认证、CE认证、QS认证、CQC认证、TS16949认证等认证以及客户验厂要求

做设备检验校准计量器具年审外校的机构

干涉仪校准规程

一、目的

确保干涉仪测量结果的准确性和可靠性，使其满足使用要求并符合相关标准规范。

二、适用范围

适用于[具体型号或类型]干涉仪的校准 。

三、校准依据

[列出所遵循的国家、行业标准或仪器制造商提供的校准指南等]

四、校准环境条件

1. 温度：20℃±2℃，在校准过程中温度变化每小时不超过1℃。温度波动会影响光学元件的尺寸和激光波长，进而导致测量误差。可利用空调、恒温箱等设备维持稳定温度，并在测量区域放置多个温度传感器实时监测。

2. 湿度：40% - 60%RH，湿度变化每小时不超过5%RH。高湿度易使光学元件表面产生水汽凝结或腐蚀，影响光学性能。可通过除湿机、加湿器和湿度传感器来调节和监控。

3. 振动：振动幅值小于[X]μm，频率小于[X]Hz 。外界振动会使干涉条纹不稳定，影响测量精度。将干涉仪放置在隔振平台上，并远离振动源，如大型机械设备、电梯等。

4. 洁净度：工作环境应保持清洁，避免灰尘、颗粒等污染物进入干涉仪内部污染光学元件。可在环境中安装空气净化设备，并定期清洁工作区域。

做设备检验校准计量器具年审外校的机构

五、校准设备及工具

1. 标准件：具有高精度和可溯源性的标准量块、标准平面反射镜、标准球面反射镜等，其精度等级应高于被校准干涉仪的精度要求。例如，校准测量长度的干涉仪，使用的标准量块精度等级要达到纳米级。

2. 辅助工具：无尘擦拭布、无水乙醇、镜头纸用于清洁光学元件；精密调整架用于固定和调整标准件与干涉仪的相对位置；光功率计用于检测激光光源的光功率 。

六、校准人员要求

校准人员需经过专业培训，熟悉干涉仪的工作原理、操作方法和校准流程，具备相关的计量知识和技能，并持有相应的计量校准资质证书。

七、校准项目及方法

（一）外观及功能检查

1. 外观检查：目力观察干涉仪外壳应无破损、变形、划痕、锈蚀等缺陷；显示屏显示清晰，无缺划、亮点等问题；操作按键功能正常，无卡滞、失灵现象；各接口连接正常，无松动、损坏。

2. 功能检查：接通电源，开启干涉仪，检查仪器自检功能是否正常；按照仪器操作手册，依次测试干涉仪的测量模式切换、数据存储、数据传输、参数设置等功能，确认各功能均能正常实现 。

（二）激光波长校准

1. 参考标准选择：选用经过计量校准且具有溯源性的波长标准器，其波长不确定度应满足校准要求。

2. 校准步骤：将波长标准器与干涉仪的激光输出端口进行适配连接；启动干涉仪和波长标准器，待设备稳定后，在干涉仪上设置波长测量功能；记录干涉仪测量得到的激光波长值，并与波长标准器的标称值进行对比；若测量值与标称值的偏差超出允许范围，按照干涉仪的操作手册，通过调整激光光源的相关参数（如电流、温度等）对波长进行校准，使测量值与标称值的偏差在允许范围内 。

（三）测量长度示值误差校准

1. 标准量块准备：选取一组不同长度规格的标准量块，量块的长度范围应覆盖干涉仪的常用测量范围，且量块的精度等级满足校准要求。例如，对于测量范围为0 - 100mm的干涉仪，可选择长度为10mm、25mm、50mm、75mm、100mm的标准量块。

2. 校准步骤：将干涉仪的测量头与标准量块的一端接触，确保接触良好且测量方向正确；在干涉仪上设置测量长度功能，并进行测量；记录干涉仪测量得到的长度值，并与标准量块的标称长度值进行对比；计算测量示值误差，公式为：示值误差 = 测量值 - 标称值；按照上述步骤，依次对不同长度的标准量块进行测量和计算示值误差；绘制示值误差与测量长度的关系曲线，分析示值误差是否在允许范围内 。若超出允许范围，可通过软件修正或调整干涉仪的光路系统、测量算法等进行校准。

（四）测量重复性校准

1. 选择测量点：在干涉仪的测量范围内，选择一个具有代表性的测量点，例如对于测量长度的干涉仪，可选择50mm的位置作为测量点。

2. 校准步骤：在选定的测量点上，使用干涉仪进行连续n次（一般n≥10）测量，每次测量后记录测量值；计算测量重复性，公式为：测量重复性 = （单次测量标准偏差/测量平均值）×100% ，其中单次测量标准偏差按照贝塞尔公式计算；将计算得到的测量重复性与仪器的技术指标进行对比，判断测量重复性是否符合要求。若不符合要求，检查干涉仪的稳定性、测量环境是否存在干扰等因素，并进行相应的调整和校准 。

（五）角度测量示值误差校准（适用于具有角度测量功能的干涉仪）

1. 标准角度块准备：选用一组不同角度规格的标准角度块，角度块的角度范围应覆盖干涉仪的角度测量范围，且角度块的精度等级满足校准要求。

2. 校准步骤：将标准角度块放置在干涉仪的角度测量工作台上，调整角度块的位置和方向，使干涉仪能够准确测量角度；在干涉仪上设置角度测量功能，并进行测量；记录干涉仪测量得到的角度值，并与标准角度块的标称角度值进行对比；计算角度测量示值误差，公式为：示值误差 = 测量值 - 标称值；按照上述步骤，依次对不同角度的标准角度块进行测量和计算示值误差；分析角度测量示值误差是否在允许范围内。若超出允许范围，可通过调整干涉仪的角度测量光路、校准角度测量算法等进行校准 。

（六）平面度测量示值误差校准（适用于具有平面度测量功能的干涉仪）

1. 标准平面反射镜准备：选用高精度的标准平面反射镜，其平面度误差应远小于干涉仪的平面度测量允许误差。

2. 校准步骤：将标准平面反射镜放置在干涉仪的测量工作台上，调整反射镜的位置，使干涉仪能够对反射镜的平面度进行测量；在干涉仪上设置平面度测量功能，并进行测量；记录干涉仪测量得到的平面度误差值，并与标准平面反射镜的标称平面度误差值进行对比；计算平面度测量示值误差；分析平面度测量示值误差是否在允许范围内。若超出允许范围，可通过调整干涉仪的光学系统、校准平面度测量算法等进行校准 。

八、校准结果处理

1. 校准证书：校准完成后，应出具校准证书。校准证书应包含以下内容：校准机构名称、地址；委托方名称、地址；被校准干涉仪的型号、编号、生产厂家等信息；校准依据；校准环境条件；校准项目、校准结果、测量不确定度；校准日期、校准人员、核验人员签名等 。

2. 校准结果判定：根据校准结果，判断干涉仪是否符合使用要求。若校准项目的测量结果均在允许范围内，则判定该干涉仪校准合格；若有任何一项校准项目的测量结果超出允许范围，则判定该干涉仪校准不合格 。对于校准不合格的干涉仪，应注明不合格项目及具体偏差情况，并建议委托方对干涉仪进行维修或调整后重新校准 。

3. 测量不确定度评定：对校准结果进行测量不确定度评定，分析不确定度的来源，如标准件的不确定度、测量重复性引入的不确定度、环境因素引入的不确定度等，并给出合成不确定度和扩展不确定度 。测量不确定度评定应按照相关的标准和规范进行，例如JJF 1059.1《测量不确定度评定与表示》 。在校准证书中应明确给出测量不确定度的评定结果 。

九、复校时间间隔

一般情况下，干涉仪的复校时间间隔建议为1年。但实际复校时间间隔可根据干涉仪的使用频率、使用环境、测量要求等因素进行适当调整。如果在使用过程中发现干涉仪测量结果出现异常或怀疑其准确性时，应及时进行校准 。

十、注意事项

1. 校准过程中应严格按照操作规程进行操作，避免因操作不当导致干涉仪损坏或测量结果不准确。

2. 校准前应对干涉仪和校准设备进行预热，使其达到稳定工作状态，以减少温度变化对测量结果的影响。

3. 在校准过程中，应避免对干涉仪和校准设备产生振动、冲击和电磁干扰，确保测量环境的稳定性。

4. 清洁光学元件时，应使用柔软的无尘擦拭布和无水乙醇，轻轻擦拭，避免划伤光学表面。

5. 校准完成后，应妥善保管校准证书和校准记录，以便日后查询和追溯 。