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以下是激光干涉仪校准的一般规程：

校准前准备

• 环境条件控制：温度控制在20℃±2℃范围内，且校准过程中波动要小，可使用空调或恒温设备；湿度保持在40%-60%，通过除湿或通风设备调节；将仪器置于隔振平台上，平台要水平且远离振动源。

• 仪器预热：按仪器说明书要求进行预热，通常需开机预热20分钟以上，使仪器达到稳定工作状态。

• 光学元件清洁：用无水乙醇和镜头纸轻轻擦拭激光发射器、接收器的光学窗口及反射镜表面。

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校准项目与方法

• 激光波长校准：采用已知长度的标准具或基准尺作参考，如高精度量块。启动仪器，让激光通过标准具，测量激光在标准长度下的干涉条纹数，通过多组数据计算实际波长。若与理论值有偏差，通过调节装置调整。

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• 直线度校准：将被测设备安装在直线导轨上，反射镜固定在末端，调整激光发射器使激光束与导轨平行。移动被测设备，反射镜沿导轨做往复运动，干涉仪采集干涉条纹数据并转换为位移数据，分析得到直线度误差，超范围则调整设备安装位置或机械结构。

• 光路校准：检查激光路径，确保干涉镜和反射镜安装正确、对准精确。可通过调整相关部件，使激光束准确传播和反射，保证光路偏差在允许范围内。对于部分激光干涉仪，需按特定步骤调节光路，如美国光动激光干涉仪，要先近后远进行调节，使反射光线重合并进入回光孔，保证光强指示灯全亮。

校准后处理

校准完成后，填写校准记录，内容包括校准日期、人员、仪器型号及编号、校准项目、结果等。依据校准结果，对仪器粘贴相应标签，合格则贴合格标签，不合格需送修并重新校准。